1. Wysoki stosunek sztywności-do-masy dla dynamiki przy dużych-prędkościach
W litografii i klejeniu komponenty muszą poruszać się z dużą prędkością i zerowym opóźnieniem. Zaawansowana ceramika zapewnia wyjątkową sztywność (wysoki moduł Younga), a jednocześnie jest znacznie lżejsza niż stal. Zmniejsza to bezwładność, umożliwiając szybsze przyspieszanie i zwalnianie bez pogarszania dokładności pozycjonowania w systemach transportu płytek.
2. Niezrównana przewodność cieplna i stabilność
Procesy półprzewodnikowe wytwarzają zlokalizowane ciepło. Materiały takie jak węglik krzemu zapewniają doskonałą przewodność cieplną, szybko rozpraszając ciepło, aby zapobiec miejscowym odkształceniom. Dzięki temu ceramiczne uchwyty próżniowe i stopnie płytek pozostają idealnie płaskie, utrzymując płaszczyznę ogniskową podczas krytycznych etapów ekspozycji na promieniowanie UV.
3. Odporność na zużycie i bezwładność chemiczna
Ceramika jest prawie tak twarda jak diamenty. Ta odporność na zużycie zapewnia, że ruchome części mają niewiarygodnie długą żywotność bez wytwarzania cząstek. Co więcej, ich bezwładność chemiczna sprawia, że są one kompatybilne z ostrymi gazami trawiącymi i środkami czyszczącymi stosowanymi-w obróbce półprzewodników.
Porównanie materiałów ceramicznych
| Nieruchomość | Tlenek glinu (Al2O3) | Węglik krzemu (SiC) |
| Twardość Vickersa | 1500 HV | 2500+ WN |
| Moduł sprężystości | 350 GPa | 450 GPa |
| Warunk cieplny | 30 W/m·K | 150+ W/m·K |
Często zadawane pytania: odpowiedzi na kluczowe pytania
Dlaczego warto stosować SiC zamiast tlenku glinu? SiC ma wyższą sztywność i lepszą przewodność cieplną, chociaż jest droższy.
Czy części ceramiczne są delikatne? Chociaż są kruche, ich wytrzymałość na ściskanie jest ogromna, co czyni je idealnymi do obciążeń precyzyjnych.
W jakich branżach wykorzystuje się tę ceramikę? Głównie przemysł półprzewodników, przemysł lotniczy i cięcie laserowe.
Czy możesz produkować niestandardowe kształty ceramiczne? Tak, oferujemy niestandardową obróbkę ceramiki OEM w przypadku złożonych elementów mechanicznych.
Jaki jest maksymalny rozmiar? Możemy produkować-ceramiczne elementy konstrukcyjne na dużą skalę, o średnicy do 1000 mm lub większej, poprzez łączenie segmentowe.
Czy ceramika wymaga specjalnego czyszczenia? Są bardzo odporne na działanie środków chemicznych, dzięki czemu można je bardzo łatwo wyczyścić w pomieszczeniach czystych.